Požadavky na výrobu vakuového nanášecího zařízení s odpařovacím vakuem

Požadavky na výrobu vakuového nanášecího zařízení s odpařovacím vakuem

1. Kvalita obrábění dílů a součástí zařízení, kvalita svařovaných dílů a kvalita montáže by měly odpovídat ustanovením technické dokumentace výrobce

2. Hodnota drsnosti Ra vnitřního povrchu povlaku zařízení a každého těsnicího povrchu by neměla být větší než 1,6 um a povrchy, které jsou během provozu ve vakuu, by měly být účinně vakuově vyčištěny a vysušeny. Pohyby každé rotující části a zvedacího mechanismu by měly být flexibilní a nemělo by docházet k lepení, stagnaci, uvolňování, chvění a abnormálnímu hluku.

3. Materiály hlavních částí zařízení by měly odpovídat ustanovením odpovídajících materiálových norem.

4. Kvalita elektrického zařízení podporujícího zařízení musí odpovídat ustanovením technické dokumentace výrobce a musí zajišťovat bezpečnost a spolehlivost provozu a provozu zařízení.

5. Kvalita vzhledu zařízení by měla být bez ostrých rohů, hran a rohů, výčnělků a hrubých nerovných povrchů, které nejsou funkčně vyžadovány. Okraj kloubní plochy dílů by měl být čistý a symetrický a nemělo by docházet k žádné zjevné dislokaci. Nátěr kovových dílů by měl být pevný, bez odpadávání a rezivění a všechny pevné díly by měly mít korozivzdornou vrstvu. Lakovaný povrch zařízení by měl být hladký, krásný, pevný, bez loupání, loupání a jiných jevů.

6. Podpůrné produkty zakoupené v zařízení by měly splňovat odpovídající normy produktu a měly by mít certifikát kvality. Vlastní podpůrné produkty v zařízení lze používat pouze po absolvování kontroly kontrolním oddělením výrobce.

7. Různé zdroje odpařování, pomocné zdroje iontů a iontové bombardování, rotace obrobku, pečení obrobku, vychýlení obrobku, sledování tloušťky filmu a další zařízení v zařízení. Ladění by mělo být prováděno po položkách a společné ladění a jeho výkon by měl splňovat konstrukční požadavky a fungovat spolehlivě. Obrobek by měl být zahřátý na jmenovitou teplotu, povrchová teplota vakuové komory by neměla být vyšší než 45 stupňů a pohyblivé části zařízení by měly být schopny normálně pracovat.

www.superbheater.com