Materiál vakuového nanášecího stroje se odpařuje a transportuje na substrát pro nanášení a tvorbu filmu

Materiál vakuového nanášecího stroje se odpařuje a transportuje na substrát pro nanášení a tvorbu filmu

Vakuové napařování je metoda vakuového nanášení zahřívání a odpařování materiálu za podmínek vakua pro sublimaci proudu odpařených částic přímo na substrát a nanášení pevného filmu na substrát nebo zahřívání a odpařování potahového materiálu.

Fyzikální proces spočívá v odpařování a transportu materiálů na substrát za účelem depozice a tvorby filmu. Fyzikální proces je: Přeměna na tepelnou energii několika energetickými metodami, zahřátí pokovovacího materiálu, aby se vypařil nebo vznešený, a staly se plynnými částicemi s určitou energií ({{0}}.1~0.3eV) (atomy, molekuly nebo atomové skupiny); opouštějící povrch potahového materiálu, plynné částice se značnou rychlostí pohybu jsou transportovány na povrch substrátu v podstatě bezkolizní přímým letem; plynné částice, které se dostanou na povrch substrátu, kondenzují, nukleují a rostou do filmu pevné fáze; složení Atomy filmu se přeskupují nebo vytvářejí chemické vazby.

Hlavní nevýhody technologie vakuového nanášení oblouku:

- Cílový materiál je omezený

- Používejte pouze kovy (bez oxidů), což má za následek nízké teploty odpařování

- Kvůli vysoké proudové hustotě se část materiálu terče odpařuje a rozstřikuje v malých kapičkách

Výhody technologie vakuového lakování:

plus vysoká rychlost nanášení (~1-3 µm/h)

plus Vysoká rychlost ionizace, vytvářející dobře přilnavý, hustý povlak

plus Chlazení cíle, menší ohřev potaženého obrobku, což umožňuje nanášení pod 100 stupňů

plus Může odpařovat kovy různého složení a složení zbývajícího pevného terče zůstává nezměněno

plus Katoda může být umístěna v libovolné poloze (horizontální, vertikální, horní a dolní), flexibilní konstrukce zařízení

Pohyb oblouku vakuového lakovacího stroje

Pohyb oblouku je řízen magnetickým polem. Plazma vytvořené odpařenými kovovými ionty bude usazeno na povrchu obrobku. Tyto obrobky se otáčejí ve vakuové komoře. Obloukem připravený povlak se obvykle nanáší na povrch nástrojů a dílů. povlak.

www.superbheater.com