Problém nestejnoměrnosti vakuového postříbřeného filmu

Problém nestejnoměrnosti vakuového postříbřeného filmu

Nejprve se snažte zajistit rovnoměrnost a směrovou konzistenci magnetického pole, aby se vytvořilo relativně jednotné prostorové magnetické pole.

Za druhé je nutné co nejvíce zajistit rovnoměrnost tlaku vzduchu nahoru a dolů. Při návrhu vakuové komory je třeba vzít v úvahu instalační polohu vývěvy, způsob nasávání vzduchu procesního plynu a uspořádání potrubí procesního plynu v komoře.

Za třetí, protože ani magnetické pole, ani tlak vzduchu nemohou být absolutně ideální, nerovnoměrnost magnetického pole může být kompenzována nerovnoměrností tlaku vzduchu, takže výsledný film je jednotný.

Za čtvrté, vzdálenost mezi cílem a základnou je také důležitým faktorem ovlivňujícím stejnoměrnost naprašovaného povlakového filmu.

Vakuové postříbření magnetronovým naprašováním rovnoměrný povlak

Rovnoměrnost magnetronového naprašovacího povlakového filmu je důležitým ukazatelem, proto je nutné studovat ovlivňující faktory, které ovlivňují rovnoměrnost magnetronového naprašování, aby bylo možné lépe realizovat rovnoměrný povlak magnetronovým naprašováním. Jednoduše řečeno, magnetronové naprašování je v ortogonálním elektromagnetickém poli, uzavřené magnetické pole váže elektrony, aby udělaly spirálový pohyb kolem cílového povrchu, a během pohybu nepřetržitě naráží na pracovní plyn argon a ionizuje velké množství argonových iontů, a ionty argonu jsou pod působením elektrického pole. Urychlete bombardování cíle, rozprášte atomové ionty cíle (nebo molekuly) a uložte je na substrát za vzniku tenkého filmu. Proto, aby se dosáhlo jednotného povlaku, je nutné rovnoměrně rozprašovat atomové ionty (nebo molekuly) terče, což vyžaduje, aby ionty argonu bombardující terč byly rovnoměrně ostřelovány. Vzhledem k tomu, že ionty argonu jsou urychlovány, aby bombardovaly cíl působením elektrického pole, vyžaduje se, aby elektrické pole bylo jednotné. Argonové ionty pocházejí z elektronů vázaných uzavřeným magnetickým polem, které se neustále srážejí a vytvářejí v pohybu, což vyžaduje rovnoměrné magnetické pole a rovnoměrné rozložení plynného argonu. Ve skutečném magnetronovém naprašovacím zařízení je však obtížné tyto faktory absolutně sjednotit, takže je nutné studovat vliv jejich nestejnoměrnosti na rovnoměrnost tvorby filmu. Ve skutečnosti jsou rovnoměrnost magnetického pole a rovnoměrnost pracovního plynu nejdůležitějšími faktory ovlivňujícími rovnoměrnost tvorby filmu. Tam, kde je magnetické pole velké, je film tlustý, zatímco film je tenký, a směr magnetického pole je také důležitým faktorem ovlivňujícím rovnoměrnost. Z hlediska tlaku vzduchu je za určitých tlakových podmínek fólie v místě, kde je vysoký tlak vzduchu, silnější a fólie je naopak tenčí.

www.superbheater.com