Metoda naprašování pro elektrické topné trubky
Zanechat vzkaz
Metoda naprašování pro elektrické topné trubky
V 50. letech 20. století někteří lidé používali rozprašování k výrobě tenkých filmů v laboratoři. Film Ta, který byl vyroben do integrovaných obvodů v 60. letech minulého století, začal své průmyslové uplatnění. V roce 1965 IBM vyvinula metodu radiofrekvenčního naprašování, která umožňovala naprašování izolátorů. Později bylo vyvinuto mnoho nových metod naprašování a byla vyvinuta celá řada zařízení pro naprašování, jako je bipolární naprašování, tripolární naprašování, kvadrupólové naprašování, magnetronové naprašování, naprašování iontovým paprskem, reaktivní naprašování, šikmé naprašování, radiofrekvenční naprašování a další metody.
Ve srovnání s vakuovým napařováním má naprašovací povlak následující výhody: může dosáhnout nanášení ve velkém měřítku a může být nepřetržitě vyráběn ve velkém měřítku; Rozprašovat lze jakoukoli látku, zejména prvky a sloučeniny s vysokým bodem tání, nízkým tlakem par; Naprašovaný nátěr má hustou strukturu, žádné póry a dobrou přilnavost k podkladu. Existují však také nedostatky, jako je složité naprašovací zařízení, potřeba vakuových systémů a vysokotlakých zařízení a pomalá rychlost nanášení naprašováním.
1, Metoda naprašování
（1） DC bipolární rozprašování
Dipólové naprašování bylo první použitou metodou naprašování. Používá potažený materiál jako katodu, zatímco potažený materiál je anoda. Katoda je připojena k stejnosměrnému zápornému vysokému napětí 1-3KV a anoda je obvykle uzemněna. Při práci nejprve vysajte a poté aplikujte plynný argon, abyste dosáhli rozprašovacího tlaku ve vakuové komoře. Když je napájení zapnuto, záporné vysoké napětí na katodovém terči generuje doutnavý výboj mezi dvěma elektrodami a vytváří plazmovou zónu. Pod poklesem katodového potenciálu v blízkosti katody urychlují kladně nabité ionty argonu ostřelování katodového terče, což způsobuje rozprášení povrchu materiálu terče a jeho ukládání na povrch substrátu v molekulárním nebo atomárním stavu, čímž se vytvoří tenký film z materiálu terče.
Největší výhodou tohoto zařízení je jeho jednoduchá konstrukce a pohodlné ovládání. Nevýhody zahrnují: filmová vrstva je zbarvena kvůli vysokému pracovnímu tlaku; Nízká rychlost nanášení, neschopnost nanášet silné filmy nad 10 um; V důsledku přímého bombardování velkého množství sekundárních elektronů na substrát je nárůst teploty substrátu příliš vysoký.
www.superbheater.com
