Monokrystalová pec plněná argonem, litrový výkon, tavící materiál

Monokrystalová pec plněná argonem, litrový výkon, tavící materiál

A. Po vyčerpání netěsnosti a absolvování testu zapněte napájení vakuové pumpy.

b. Pomalu otevřete kulový ventil.

C. Zapněte systém plnění argonu a upravte průtok argonu v pomocné komoře na 20~30L/min, aby se tlak v peci stabilizoval na 1000~1500Pa.

d. Zapněte spínač topení.

E. Podle níže uvedené tabulky zvyšujte výkon krok za krokem prostřednictvím evropského měřiče. Každé vytápění je odpovídajícím způsobem zaznamenáváno. S používáním Eurometru zacházejte opatrně, aby nedošlo k rychlému nárůstu výkonu, který může způsobit okamžité přetížení transformátoru nebo způsobit okamžitý nadměrný proud do celého topného okruhu a způsobit vznícení nebo poškození. Zahřívání by mělo být prováděno přesně v souladu s posloupností zahřívání, jinak může teplota náhle stoupnout a způsobit prasknutí křemenného kelímku a únik křemíku.

Časová síla

0min. 50 kW

30 minut 70 kW

60 min<100KW

F. Během procesu tavení vždy věnujte pozornost situaci v peci. Pokud nedojde k abnormálnímu zhroucení, kelímek se nastaví na rotaci 2 ot./min a příslušná poloha kelímku se zvedne. A proveďte odpovídající záznamy. Při zvedání kelímku dávejte pozor, aby se povrch křemíkové kapaliny nedotýkal spodního okraje vodicí trubice. Po zvednutí banku se ujistěte, že bank nemá žádný vliv na stupnici pozice banku. Jinak se odváděcí trubice přilepí na křemík a způsobí přeskakování křemíku.

G. Když je materiál roztaven, snižte topný výkon na teplotu setí (odpovídající peci). Nastavte hrnec na 5~7 ot/min a proveďte odpovídající záznamy.

h. Když hodnota eurometru klesne na hodnotu odpovídající teplotě výsevu, dojde k automatickému zapnutí a nádoba se zvedne do stabilní polohy výsevní nádoby, to znamená, že vzdálenost od vodicí trubice k hladině kapaliny je asi 15 mm. Polohu secího hrnce lze také určit podle zvýšení/snížení přiváděného množství na základě zatížení pece. Podrobnosti naleznete v příloze A. Referenční tabulka změny polohy výsevu. A proveďte odpovídající záznamy.

www.superbheater.com