Stroj na čištění polovodičů ultrazvukem

Stroj na čištění polovodičů ultrazvukem

Polovodičový průmysl je jádrem moderního elektronického průmyslu a základem polovodičového průmyslu je průmysl křemíkových materiálů. Přestože se stále objevují různé nové polovodičové materiály, více než 90 procent polovodičových zařízení a obvodů, zejména ultra velkých integrovaných obvodů (ULSI), je vyrobeno na vysoce čistých a vysoce kvalitních křemíkových monokrystalových leštících a epitaxních destičkách.

Význam čištění křemíkových plátků pro polovodičový průmysl je vysoce ceněn již od počátku 50. let, protože nečistoty na povrchu křemíkových plátků mohou vážně ovlivnit výkon, spolehlivost a výtěžnost zařízení. S rychlým rozvojem mikroelektronických technologií a zvyšující se poptávkou po surovinách je dopad znečišťujících látek na zařízení stále výraznější.

V 70. letech 20. století byl vyvinut vícekanálový elektronový multiplikátor založený na jednokanálovém elektronovém multiplikátoru. Mikrokanálové desky byly široce používány kvůli jejich jednoduché struktuře, vysokému zisku, rychlé časové odezvě a prostorovým zobrazovacím charakteristikám. Používá se hlavně v různých typech zesilovačů obrazu, zařízeních pro noční vidění, kvantových detektorech polohy, paprskových zesilovačích, polních iontových mikroskopech, ultra rychlých širokopásmových osciloskopech, fotoelektrických multiplikátorech a tak dále. Mikrokanálová deska je multipole elektronový multiplikátor, který je základní součástí zesilovače obrazu s nízkou úrovní osvětlení. Výrobní proces MCP je dlouhý a složitý a zjevné vady jsou jedním z klíčových faktorů omezujících výtěžnost MCP. Během výrobního procesu MCP je nevyhnutelné, aby byl kontaminován prachem, kovy, organickými a anorganickými látkami. Tyto znečišťující látky mohou snadno způsobit povrchové defekty a nečistoty v otvorech, což má za následek emisní body, černé skvrny, tmavé skvrny atd., což vede k poklesu výtěžnosti MCP, čímž se kvalita trubek stává nestabilní a dokonce neúčinnou. Proto je důležité používat technologii ultrazvukového čištění k odstranění kontaminantů během výrobního procesu MCP.

www.superbheater.com