| Polovodičový průmysl|Přesná regulace teploty a vlhkosti: Základní kámen procesního inženýrství, řešení regulace teploty pro zařízení pro polovodičové procesy!

Sep 04, 2026

Zanechat vzkaz

Kolísání výtěžnosti litografie?

Nedostatečná jednotnost vývoje?

Odchylky přesnosti expozice?

Vysoce přesná{0}}regulace teploty a vlhkosti THC

je klíč!

S rostoucími požadavky na řízení teploty u zařízení pro výrobu polovodičů využívá ORION své odborné znalosti a rozsáhlé zkušenosti k poskytování vysoce{0}}přesných řešení THC zákazníkům po celém světě.

Po mnoho let se společnost ORION zavázala k výzkumu, vývoji a výrobě vysoce-kvalitních zařízení pro regulaci teploty, která slouží mnoha průmyslovým odvětvím, s obzvláště silnou přítomností v oblasti zařízení pro výrobu polovodičů. Tentokrát uvádí na trh produkty pro řízení teploty kapalin a plynů pro procesy výroby polovodičů, které se vyznačují -bezfluorovými, miniaturizovanými a vysoce přesnými- charakteristikami.

Vlastnosti lineárního řízení proudu pro Peltierovy prvky

Využitím lineárního řízení proudu Peltierových prvků je dosaženo úspory energie, přesnosti a odolnosti.

Vlastnosti produktu ORION

Až 60% úspora energie ve srovnání se současným ZAPNUTO-OFF

Vyšší přesnost ovládání ve srovnání se současným ZAP-OFF

Prodloužená životnost Peltierových článků díky snížené teplotě a elektrickému namáhání (kolísání)

Používá Peltierovy prvky odolné vůči tepelnému namáhání- (chemické Peltierovy prvky)

Funkce displeje (zobrazení aktuálního výstupu Peltierova prvku) pomáhá optimalizovat nastavení PID, čímž prodlužuje životnost Peltierových prvků (chemický Peltier).

Ve srovnání s provozem ON-OFF se toto zařízení může pochlubit delší životností.

01 Přesný regulátor teploty řady ETN·ETDM pro chemické roztoky

- Peltierův typ -

[Obraz]
Přesnost regulace teploty: ±0,1 stupně

Rozsah regulace teploty: 5~60 stupňů

Chladicí výkon: 250~950 W

Topný výkon: 500~2000W

Kontrolované tekutiny: Chemické roztoky a ultračistá voda

Příklady použití: Čisticí zařízení (leptání, čištění destiček, čištění CMP)

Díky použití plného teflonového výměníku tepla v oblasti kontaktu s kapalinou lze přímo řídit teplotu chemického roztoku. Pro podrobné informace kontaktujte prosím obchodní kancelář.

Trubkový výměník tepla

Deskový výměník tepla

Vysoce přesný{0}}regulátor teploty kapalin řady ETU

- Peltierův typ -

Obraz
Přesnost regulace teploty: ±0,03 stupně

Rozsah regulace teploty: 10~60 stupňů

Chladicí výkon: 200~1400 W

Topný výkon: 400~2000W

Kontrolovaná kapalina: Čistá voda, čistá voda, vodný roztok ethylenglykolu

Příklady použití: Řízení teploty pro lakovací a vyvolávací stroje, zařízení pro elektronovou litografii, expoziční zařízení a řízení teploty ukládací platformy.

Přizpůsobení:

① Vysoce{0}}přesné ovládání ±0,01 stupně

② Řízení teploty kapaliny-obsahující fluor

Pro podrobné informace kontaktujte prosím obchodní kancelář.

Přesný regulátor teploty stlačeného vzduchu řady ACU

- Peltierův typ -

Přesnost regulace teploty: ±0,01 stupně

Rozsah regulace teploty: 15~40 stupňů (ACU2000B)

Průtok: 30~2100 l/min

Řízená kapalina: Stlačený vzduch

Příklady použití: Expoziční stroje, zařízení pro elektronovou litografii atd.

Regulátor ventilační teploty řady APE