Středofrekvenční magnetronový rozprašovací terč pro zařízení pro vakuové galvanické pokovování

Středofrekvenční magnetronový rozprašovací terč pro zařízení pro vakuové galvanické pokovování

Nyní přidejte středofrekvenční magnetronový rozprašovací terč a použijte magnetronový naprašovací terč k urychlení odpařených molekul těla filmu působením elektrického pole k bombardování materiálu terče, rozprášení velkého počtu atomů terče a neutrálních atomů terče ( nebo molekul) se ukládají na podkladu Vzniká film na substrátu, který řeší typy filmů, které se v minulosti nedaly zpracovat přirozeným napařováním, jako je titanové pokovování a zirkoniování apod.

V současnosti se jako filmová vrstva vakuové trubice obecně používá hliníkovo-dusíkový kompozitní film. Celá filmová vrstva je rozdělena do tří vrstev: vnitřní vrstva, střední vrstva a vnější vrstva, z nichž každá má svou vlastní funkci. , hlavní funkcí je absorbovat světelnou energii a přeměnit ji na tepelnou energii; vnější vrstva je antireflexní vrstva, hlavní funkcí je snížit odraz slunečního záření a zvýšit míru absorpce slunečního záření.

Princip nanášení vakuové trubice zařízení pro vakuové galvanické pokovování

Princip nanášení vakuové trubice spočívá v tom, že elektrony se v procesu urychlování a létání k substrátu působením elektrického pole srážejí s atomy argonu, přičemž dochází k ionizaci velkého množství argonových iontů a elektronů a elektrony letí k substrátu. Působením elektrického pole ionty argonu urychlují bombardování materiálu terče, rozprašují velké množství atomů materiálu terče a neutrální atomy terče (nebo molekuly) se ukládají na substrát za vzniku filmu.

Sekundární elektrony jsou ovlivněny Loranovou magnetickou silou magnetického pole během zrychlování a létají k substrátu a jsou vázány v oblasti plazmatu blízko povrchu cíle. Hustota plazmatu v této oblasti je velmi vysoká a sekundární elektrony jsou obklopeny magnetickým polem. Cílový povrch se pohybuje kruhovým pohybem a elektron má velmi dlouhou dráhu pohybu. Během pohybu se nepřetržitě sráží s atomy argonu a ionizuje velké množství argonových iontů, aby bombardoval materiál cíle. , daleko od cíle a nakonec naneseny na substrát.

www.superbheater.com