Parametry nastavování magnetronového naprašování vakuového nanášecího zařízení

Parametry nastavování magnetronového naprašování vakuového nanášecího zařízení

Široké uplatnění zařízení magnetronového naprašování je dáno charakteristikou technologie, kterou lze shrnout následovně: jako tenkovrstvé materiály lze použít různé materiály, které lze připravit na terče, včetně různých kovů, polovodičů, materiálů feromagnetických materiálů, stejně jako izolační oxidy, keramika, polymery atd.

Kromě toho mohou parametry nastavení magnetronového naprašování vyladit výkon filmu, zvláště vhodný pro velkoplošné potahování, a nanášecí plocha je rovnoměrnější.

Impedance plazmového rozprašování magnetronu vakuového nanášecího zařízení je nízká

Zařízení magnetronového naprašování může připravovat různé tenké filmy, tenké filmy s různými funkcemi a může také nanášet směsi a složené tenké filmy se smíšenými složkami; Impedance magnetronového rozprašování plazmatu je nízká, což má za následek vysoký vybíjecí proud, při napětí asi 500V. Vybíjecí proud může být od 1A do 100A (v závislosti na délce katody); rychlost tvorby filmu je vysoká a rychlost nanášení lze změnit z 1 nm/s na 10 nm/s; konzistence tvorby filmu je dobrá i na katodě o délce několika metrů. V případě naprašování lze stále zajistit konzistenci vrstvy filmu; nárůst teploty substrátu je nízký; energie rozprášených částic je asi desítky elektronvoltů, tvorba filmu je poměrně hustá a základ filmu je dobře spojen.

Teplota ohřevu zařízení vakuového lakovacího stroje je příliš vysoká:

Protože výkon ohřívače difuzního čerpadla neodpovídá jmenovitému výkonu, je příliš vysoký, což má za následek velké množství páry, což může způsobit návrat oleje a lze to vyřešit výměnou drátu elektrické pece.

Kanál chladicí vody vakuového lakovacího stroje není hladký nebo tlak vody není dostatečný:

V důsledku toho se snižuje chladicí kapacita, horní část difuzního čerpadla se zahřívá a olejové páry nelze dobře zkapalnit. Řešením je napojit přívodní potrubí difuzního čerpadla se zdrojem vzduchu 4mpa pro vyfukování vodního kamene a výstupní potrubí je také ofukováno na 4mpa. Pokud je vodní kámen velmi hustý a pevný, lze přidat zředěnou kyselinu chlorovodíkovou. Nebo vyměňte difuzní čerpadlo.

www.superbheater.com