Jak se silikonové ohřívače používají při zpracování polovodičových destiček?

Silikonové ohřívače mají mnoho kritických programů při zpracování polovodičových plátků.
Za prvé, v mnoha oblastech výroby plátků, včetně postupů žíhání a difúze, se silikonové ohřívače používají pro jedinečnou kontrolu teploty. Udržování konkrétní a jednotné teploty je důležité pro dosažení vynikajícího výkonu tkaniny a nástroje. Silikonové ohřívače mohou nabídnout správné a pevné vytápění, které splňují přísné teplotní požadavky. Například v průběhu žíhání si plátek přeje zahřát, aby se zmírnil tlak a zlepšila krystalická struktura. V tomto okamžiku se silikonový ohřívač může ujistit, že teplota je přesně řízena v malém rozsahu, čímž se skvěle odvrací nepříznivé důsledky na oplatku.
Pak jsou silikonové ohřívače velmi ohýbané ve frázích konfigurace a umístění. Mohou být navrženy na zakázku ve formě a začleněny do zpracovatelského zařízení, aby nabízely centrovaný ohřev pro jedinečné oblasti oplatky. To je výhodné hlavně u několika postupů, které vyžadují ohřev v blízkosti, včetně jistých kroků fotolitografie.
Kromě toho přispívají k přenosu zeleného tepla. Vynikající tepelná vodivost silikonu umožňuje rychlou a rovnoměrnou distribuci tepla na povrchu plátku, minimalizuje teplotní gradienty a zlepšuje konzistenci způsobu. Například v rámci chemického nanášení z plynné fáze (CVD) si přeje být tenký film nanesen na plátek a rovnoměrná teplota dodávaná silikonovým ohřívačem může zajistit rovnoměrnost a velikost naneseného filmu.
Kromě toho mohou být silikonové ohřívače navrženy tak, aby se vypořádaly s náročným prostředím zpracování při výrobě polovodičů, které normálně spočívá v propagaci mnoha chemických sloučenin a nadměrném vakuu.