Poté, co jsou složité vzory obvodu vyleptány do křemíkového plátku, musí být ochranná fotorezistová maska-vrstva pevného, ​​zesíťovaného-polymeru- zcela a čistě odstraněna. Toho je dosaženo v horké lázni silných, agresivních organických rozpouštědel, často zahřátých na více než sto stupňů Celsia. Ponorný ohřívač uvnitř této těkavé, korozivní chemie musí být vyroben z materiálu, který rozpouštědla nemohou rozpustit, nabobtnat ani kontaminovat. PTFE je ten chemicky tichý, inertní materiál.

Role ohřívačů PTFE při odstraňování fotorezistu

Stripovací lázeň se obvykle skládá ze směsi rozpouštědel, jako je N-methyl-2-pyrrolidon (NMP), dimethylsulfoxid (DMSO) a silné alkalické aminy, zahřáté na 80–110 stupňů. Standardní volbou pro tuto aplikaci je PTFE ponorný ohřívač. Jeho chemicky inertní plášť je plně odolný vůči agresivním rozpouštědlům, která by jinak napadla běžné plasty a korodovala kovy.

PTFE ohřívač poskytuje čisté, stabilní a přesné teplo bez uvolňování kovových iontů nebo jiných nečistot, které by se mohly usadit na nedotčeném povrchu plátku. Nepřilnavý, hladký povrch PTFE odolává usazování rozpuštěných zbytků fotorezistu a udržuje dokonale čistý topný povrch během opakovaných cyklů. Proces odizolování plátku fotorezistem ohřívače PTFE zajišťuje rovnoměrné rozložení teploty a minimalizuje místní var nebo nárazy, které by mohly narušit jemné plátky.

"Teflonový ohřívač je chemicky tichý, horký prst v lázni s výkonnými rozpouštědly, který odstraňuje masku, aniž by na sobě zanechal jedinou stopu, a přitom zachovává plátek nedotčený a elektricky bezchybný."

Bezpečnostní aspekty

Směs rozpouštědel je hořlavá, toxická a často se provozuje blízko bodu varu. Správná konstrukce nádrže, včetně utěsněných krytů, uzemnění a ventilace, je povinná, aby se zabránilo požáru, vystavení výparům nebo elektrostatickým nebezpečím. Konzervativní wattové hustoty jsou vyžadovány pro udržení kontrolovaného ohřevu a zabránění nárazům rozpouštědla nebo místnímu přehřátí na PTFE plášti.

Provozní výhody

Použití ohřívačů PTFE v tomto procesu umožňuje:

Chemická odolnost vůči agresivním směsím rozpouštědel.

Udržování absolutní čistoty plátků a elektrické integrity.

Dlouhodobá-spolehlivost bez koroze nebo degradace.

Rovnoměrné-bezezbytkové zahřívání kritické pro výrobu polovodičů s vysokým-výtěžkem.

Závěr

PTFE ponorný ohřívač je kritický, chemicky imunní zdroj tepla, který umožňuje čisté a úplné odstranění fotorezistu z plátků při výrobě polovodičů. Poskytováním stabilního tepla bez kontaminantů- ve vysoce agresivní rozpouštědlové lázni zajišťuje ohřívač PTFE atomovou čistotu nezbytnou pro moderní mikroelektroniku. Dokonalého, bezchybného povrchu počítačového čipu je dosaženo kombinací chemické agrese a inertního, spolehlivého zahřívání.