Tvrdost a modul pružnosti vakuových stříbrných povlaků

Tvrdost a modul pružnosti vakuových stříbrných povlaků

S-4800 (Hitachi, Japonsko) rastrovací elektronový mikroskop (SEM) byl použit k pozorování lomové struktury a povrchové morfologie filmů TiCN a rentgenový energeticky disperzní spektrometr (EDS) připojený k přístroji byl použit k analýze elementární obsah filmů. Fázové složení a velikost zrna povlaku byly analyzovány X'PertPro (Philips, Holandsko) rentgenovým difrakčním (XRD) přístrojem. Tvrdost a modul pružnosti povlaků byly analyzovány pomocí testovacího systému NanoIndenterXP (Agilent, Amerika). Současně byla použita indentační metoda a metoda škrábání pro hodnocení pevnosti spojení fólie a substrátu. Vtiskovací metoda používala tvrdoměr HR-150A Rockwell se zátěží 150 kg; metoda škrábání používala HH-3000 vrypový tester s brzdným zatížením 100N. K provedení řezné zkoušky na závitníku byla použita vertikální vrtačka Z5135. Otáčky vřetena vrtačky byly 530 ot./min., závitovaný materiál byla 40Cr kalená a popouštěná ocel a tvrdost po kalení a popouštění byla HRC29-32.

Vakuově postříbřená rychlořezná ocel jako základní materiál

Jako základní materiál je zvolena rychlořezná ocel M2, velikost vzorku je 6 mm × 6 mm × 10 mm a pro řeznou zkoušku je připraveno několik závitníků ze stejného materiálu se specifikací Φ10 mm. Materiály rozprašovacích elektrod jsou jeden pár titanového kovového terče (čistota 99,99 procenta) a grafitového terčíku (čistota 99,99 procenta) a dva druhy terčů (4 terče) jsou střídavě a rovnoměrně rozmístěny na vnitřní stěně povlakovací komory. Před potažením byl povrch vzorku obroušen, aby se odstranily makroskopické škrábance viditelné pouhým okem, a vyleštěn do zrcadlového povrchu. Poté byly kohout a vzorek otryskány pískem, aby se odstranila kontaminace povrchové vrstvy. Po čištění ultrazvukem byl vysušen a instalován do pece. Evakuujte na 9,0×10-3Pa, předehřejte obrobek po dobu 60 minut a poté použijte efekt bombardování argonovými ionty k leptání a čištění substrátu pod negativním předpětím po dobu 30 minut. Aby se zlepšila pevnost spojení mezi tenkým filmem a substrátem, je na substrát uložena kovová přechodová vrstva Ti pomocí kovového bloku Ti v odpařovacím kelímku. Nakonec byly za podmínek tlaku 4,5×10-1Pa připraveny tenké vrstvy TiCN společným naprašováním grafitové elektrody a titanové elektrody po dobu 3 hodin. Po potažení ochlaďte 1 hodinu a vyjměte vzorek.

www.superbheater.com